本文標題："有關壓縮氣體微電子工業中的另一種污染傳播物"

發布者：YIYI ------ 分類: 站內動態 ------ 人瀏覽過 -----時間：2015-9-22 9:5:39

有關壓縮氣體微電子工業中的另一種污染傳播物

    工廠周圍包含有各種空中懸浮粒子群、水蒸氣和
輻射能量它們將對產品產生物理、化學、生物或能量等方面的有害
影響。這里，我們將強調傳播的方法(即它們是從空中來的)，而不
是污染的形式。環境作用可以是直接的(粒子降落在硅片上)，也可
以是簡接的(粒子降落到清洗槽里，然后再沉積于硅片上)。圖1-2
說明了空中污染的各種來派:外界環境、工廠工人、生產設備或生
產過程中的廢料。工廠環境把其他污染源的作用加在一起構成一
個高度的流動體。這一環境是電子器件受到污染的主要傳播者。
所以，許多工業都把工廠環境控制和污染控制等同起來看待。
    壓縮氣體微電子工業中的另一種污染“空中”傳播物就是各
種壓縮氣體，包括壓縮的空氣、氧氣、氫氣、氮氣和氬氣。提供這些
氣體是為了進行表面熱處理、氧化、擴散、晶體生長、濺射、鈍化和
其他微電子工序中進行有關的環境處理。遍布在氣體使用點的主
要污染形式是粒子和殘留氣體雜質。但是，如果管道清洗或裝配
不當，引起象焊劑、管道涂料、去垢劑殘留物這樣一些有機物，也會
使管道系統受到污染。所以，這些氣體必須妥善地制取、貯存和分
配，保證氣體使用點的供氣質量。

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